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實(shí)驗內容：ALD實(shí)驗
臭氧機型：NANO15,3S-J5000
某研究所ALD用臭氧發(fā)生器150mg/L
nano15臭氧發(fā)生器，體積小，臭氧產(chǎn)量15g/h，濃度高，非常適合ALD實(shí)驗使用。
經(jīng)典成功案例
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